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通過管控機制與設計,可以有效避免光刻胶过期报废,或是人员换装光刻胶的误动作风险
自主開發系統,具有高度客制能力
可運用大數據分析管理,结合inline defect分析系统快速找到真因
使用RFID定时定位,可以有效防止人员操作失误造成的风险
通過縝密系統,可以有效运用,不会有过期或疏漏造成的impact
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