產品中心
Product center
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智能工具與豐富應用場景
功能特點
- 01—降低pilot wafer用量—
藉由準確feedback，可以在最短时间内使输出值接近目标值，可以大幅减少 pilot wafer 的使用
- 02— 改善产品Cpk —
APC可以使产品有效控制在目标值附近，保证产品质量
- 03— 减少OOS发生率 —
將可能影響因子完整考量到算法中，能有效降低outliner的发生
- 04— 减少MO发生率 —
經由完整系統運作，可以大幅减少需要人员操作的机会，并加上系统中对于补偿值的卡控从而减少MO的发生
優勢效果
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虛擬量測
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設備健康度監控
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圖像缺陷診斷
頁
面
引
導
