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    產品中心
    Product center
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    智能數據引擎平臺
    DMS
    缺陷管理系統

    產品概覽

    • DMS是一款缺陷改善管理系统
      幫助用戶用更簡潔、高效的方法对缺陷的平面分布和履历进行分析
    • 基於半導體工廠具有座標的缺陷
      對半導體工廠缺陷數據進行處理和轉換,生成清晰而直观的缺陷位置分布图
    • 較強的靈活性和可擴展性

      可與EDA,YMS等模块结合,实现多角度、多层次的缺陷数据分析

    智能工具與豐富應用場景

    功能特點

    • 01
      — 缺陷查询 —

      能夠查詢缺陷數據並對缺陷數據進行編輯,可自由选择要进行分析的缺陷数据进行不同分析

    • 02
      — Map展示 —

      將缺陷點根據座標轉換成缺陷Map图,可快速查看出每片产品的缺陷分布情况

    • 03
      — Map堆叠 —

      可將不同產品缺陷Map堆叠到一起,从而快速分析出缺陷高发位置以及缺陷聚集形态,并于设备结构坐标做对比

    • 04
      — 缺陷履历分析 —

      可通過同一產品在不同階段的座標進行對比,从而判断和追溯缺陷的产生原因,从而分析出缺陷产生的原因

    優勢效果

    • 可進行缺陷座標匹配,快速分析缺陷的增减,追溯缺陷成因
    • 可對缺陷進行Map进行堆叠,快速分析缺陷分布规律
    • 可快速查看產品缺陷Map及产品缺陷统计信息
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